ASM PE2O8碳化矽磊晶系統亮相

ASM全新PE208碳化矽磊晶系統採用雙腔體設計，具備更高的產量、更低的擁有成本，兼容6吋和8吋的單晶圓碳化矽磊晶系統。圖／ASM提供

全球半導體前端製程設備龍頭企業ASM，於2024國際碳化矽與材料論壇上發佈了全新PE2O8碳化矽磊晶系統。該款雙腔體碳化矽、磊晶平臺旨在滿足先進碳化矽功率元件領域的需求，成爲業界標竿。PE2O8具備更高的產量和較低的擁有成本，促進了碳化矽元件的更廣泛應用。

隨着全面電氣化趨勢推動更多功率元件製造商在愈來愈多高功率應用中（如電動車、綠能與先進資料中心）使用碳化矽，對碳化矽的需求和降低成本的期望日益增強，這促使了6吋至8吋碳化矽基板的過渡，同時碳化矽元件製造商正致力於設計更高功率的元件，這些元件將受益於更優質的碳化矽磊晶技術。

PE2O8雙腔體系統，具備簡便的定期維護方案，幫助提高設備的正常運行時間，並減少意外停機的發生，目前系統已持續交付給全球多個客戶，其中包含碳化矽功率元件製造業的領導企業。

ASM企業副總裁兼PEALD及Epi事業部門總經理Steven Reiter表示，ASM客戶正在從6吋晶圓過渡到8吋晶圓，尤其在更大尺寸的晶圓上提供高品質的磊晶製程並有效控制缺陷率至關重要，憑藉創新的腔體設計，一直作爲業界製程穩定性的標竿，如今更擴展了系統能力，進一步提升製程控制，並透過降低擁有成本爲客戶創造更多價值。

自2022年以來，ASM透過新的碳化矽磊晶產品部門，持續開發和精煉其單晶圓碳化矽磊晶系統，隨着電動車需求結構性的增加，及碳化矽晶圓和元件整體產量的提升，碳化矽磊晶設備市場近年來大幅增長。