ASML天價EUV曝光機可買3架F-35 竟藏「1致命天敵」？

ASML上百億元的EUV機臺隱藏的致命弱點，就是地震及牛放屁。（示意圖/達志影像/shutterstock）

半導體設備巨頭艾司摩爾（ASML）推出新一代高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）曝光設備，其價格昂貴程度令人咋舌，最高達3.7億美元（約臺幣121億元），堪比三架F-35戰鬥機的價格，但這臺天價機器卻隱藏致命弱點，就是地震和牛隻放屁。

華爾街日報專欄作家柯恩（Ben Cohen）跟隨ASML工程師霍爾（Brienna Hall），深入瞭解ASML精密設備的維護以及維修工程師的作業流程。

霍爾是ASML派駐美光的機械工程師，負責維護EUV曝光機。目前EUV單臺價格約在1.7億至3.7億美元不等。

柯恩指出，EUV曝光機堪稱現代工程奇蹟，它有兩點令人印象深刻：一是 ASML與德國光學公司蔡司合作研發的鏡片，若將鏡片放大到與整個德國同等大小，整個鏡面的誤差不會超過1公釐；二是EUV的精準度之高，相當於從房屋發射雷射光束，並在月球上打乒乓球。

ASML最先進的EUV設備客戶，包括臺積電、英特爾和三星。據悉，臺積電已於去年底在新竹總部附近的研發中心安裝最新的High NA EUV曝光機，比競爭對手英特爾晚幾個月。

爲確保這些價值連城的EUV機臺正常運作，ASML聘僱上萬名工程師組成全球性後勤團隊協助客戶。儘管有完善的支援，偶爾還是會發生突發狀況，對臺積電而言，地震是主要的擔憂，可能導致晶圓破裂，而英特爾則擔心風向變化。

英特爾先前調查曝光機產能異狀時，意外發現始作俑者竟是工廠外飼養的數百頭乳牛。原來，鄰近農場牛羣每天放屁產生大量甲烷，由於風向改變，甲烷通過空氣淨化器進入無塵室，進而影響曝光機效能。英特爾吸取教訓，避免在牧場周邊興建晶圓廠。

柯恩強調，除了這類罕見事件外，曝光機故障率極低。若整個晶圓廠停擺，ASML已有備份應急，世界各地均有工程師常駐，全力協助客戶能儘快恢復生產作業。