大連皓宇申請 PECVD 設備上的 spindle 主軸連接結構專利，確保主軸運動精確性

金融界 2024 年 11 月 9 日消息，國家知識產權局信息顯示，大連皓宇電子科技有限公司申請一項名爲“PECVD 設備上的 spindle 主軸連接結構”的專利，公開號 CN 118912111 A，申請日期爲 2024 年 7 月。

專利摘要顯示，本發明公開 了 P E C V D 設備上的 spindle 主軸連接結構，包括：DD 馬達，用於驅動主軸；轉接底座，嵌套在 DD 馬達內圈，用於傳遞驅動力；多功能軸端鎖緊螺母，位於轉接底座頂部凹槽內且套接在主軸上將主軸進行鎖緊；輔助主軸絲桿，設置在主軸下方且上部伸進轉接底座內，用於克服 DD 馬達內圈磁鐵吸力，防止主軸變形；絲桿螺母，套接在輔助主軸絲桿上；滾珠軸承，位於絲桿螺母與轉接底座之間。本發明中 DD 馬達內圈通過轉接底座與主軸連接，減少了傳動過程中的誤差累積，從而確保了主軸運動的精確性。通過輔助主軸克服 DD 馬達內圈磁鐵的吸力，增加主軸的剛性，避免變形，防止 DD 馬達內圈和外圈接觸產生摩擦。

本文源自：金融界

作者：情報員