華海清科與清華大學產學研合作11年 堅持核心技術自主創新研發投入佔比超12%

長江商報消息●長江商報記者 徐佳

2023年度國家科學技術獎揭曉，科創板上市公司華海清科（688120.SH）榜上有名。

日前，華海清科披露，公司和清華大學共同完成的 “集成電路化學機械拋光關鍵技術與裝備”項目榮獲2023年度國家技術發明獎一等獎。

長江商報記者注意到，作爲一家擁有核心自主知識產權的高端半導體設備供應商，華海清科原本受清華大學控制，當前實控人爲四川省國資委。自成立以來，華海清科就與清華大學在化學機械拋光（CMP）領域開展了深入的產學研合作，迄今已有11年時間。

2022年6月，華海清科在科創板上市。2023年，華海清科實現營業收入25.08億元、淨利潤7.24億元，連續四年增長。

一直以來，華海清科堅持核心技術自主創新，不斷加大研發投入力度。2021年至2023年，公司研發費用1.19億元、2.17億元、3.04億元，佔營業收入的比例分別爲14.82%、13.14%、12.12%。

獲國家技術發明獎一等獎

當日晚間，科創板上市公司華海清科就發佈公告，公司和清華大學共同完成的 “集成電路化學機械拋光關鍵技術與裝備”項目榮獲2023年度國家技術發明獎一等獎，公司董事長、首席科學家路新春作爲項目第一完成人獲得2023年度國家技術發明獎一等獎證書。

據華海清科介紹，化學機械拋光（CMP）是先進集成電路製造前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵製程工藝，公司以清華大學科技成果轉化的CMP技術成果爲基礎，進行CMP裝備產業化應用的核心技術研發，率先推出國內首臺擁有自主知識產權12英寸CMP裝備，實現了國內市場CMP裝備領域的國產替代。公司持續加大自主研發力度，推出多款CMP商業化機型，並依託穩定的性能和良好的售後服務優勢，批量進入行業知名芯片製造企業，國內市場佔有率達到較高水平。

長江商報記者注意到，清華大學原本爲華海清科的實際控制人。隨着清華大學實施校企改革，2022年7月，華海清科的實控人變更爲四川省國資委。

不過，自2013年成立以來，華海清科就與清華大學在CMP領域開展了深入的產學研合作，主要由公司負責項目應用和產業化開發，清華大學負責爲研發項目涉及的基礎機理進行實驗室研究，二者合作已有11年時間。

而華海清科的董事長、首席科學家路新春也曾在清華大學任教多年。資料顯示，1994年4月至1996年3月，路新春任清華大學精密儀器與機械學系博士後、講師；1996年4月至2012年12月曆任清華大學 精密儀器與機械學系副教授、教授；2013年1月至今任清華大學機械工程系教授、首席研究員（2020年9月辦理離崗創業）；2014年7月至2020年10月兼任清華大學天津高端裝備研究院副院長。

除路新春外，華海清科董事趙燕來、張國銘、徐春欣、王永慶、監事會主席周豔華以及總經理助理、技術總監、副總經理趙德文均畢業於清華大學。

2023年研發投入超3億佔比12.12%

資料顯示，華海清科是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體設備製造商，主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售及技術服務，主要產品爲化學機械拋光（CMP）設備。

長江商報記者注意到，在IPO之前，華海清科的核心研發團隊先後承擔、聯合承擔了兩項“國家科技重大專項（02專項）”及三項國家級重大項目/課題，針對納米級拋光、納米顆粒超潔淨清洗、納米精度膜厚在線檢測、大數據分析及智能化控制等CMP設備核心關鍵技術取得了有效突破和系統佈局，打破了國外巨頭的技術壟斷，真正實現了國內市場CMP設備領域的國產替代。

據華海清科介紹，作爲擁有自主知識產權的國內12英寸CMP設備廠商，公司憑藉自身的技術與產品實力在國內CMP設備領域的市佔率穩步提升，已基本覆蓋國內12英寸先進集成電路大生產線，處於國內領先地位。

2022年6月，華海清科在科創板上市，其經營業績一直保持穩定增長態勢。同花順數據顯示，2020年至2023年，華海清科分別實現營業收入3.86億元、8.05億元、16.49億元、25.08億元，同比增長82.95%、108.58%、104.86%、52.11%；淨利潤9778.77萬元、1.98億元、5.02億元、7.24億元，同比增長163.42%、102.76%、152.98%、44.29%；扣非淨利潤1461.46萬元、1.14億元、3.8億元、6.08億元，同比增長130.62%、679.88%、233.36%、60.05%。

今年第一季度，華海清科則實現營業收入6.8億元，同比增長10.4%；淨利潤和扣非淨利潤分別爲2.02億元、1.72億元，同比增長4.27%、2.78%。

作爲集成電路行業上市公司，華海清科一直堅持核心技術自主創新，不斷加大研發投入力度。2021年至2023年，公司研發投入金額1.19億元、2.17億元、3.04億元，佔營業收入的比例分別爲14.82%、13.14%、12.12%。

今年第一季度，華海清科的研發投入金額爲8044.04萬元，同比增長24.26%，佔營業收入的比例爲11.83%，同比增加1.32個百分點。

目前，華海清科已建立了全面覆蓋CMP、減薄、劃切、清洗、膜厚測量等核心技術的知識產權保護體系，核心技術已形成高強度專利組合和技術屏障，截至2023年末，公司擁有國內外授權專利368項，其中發明專利186項、實用新型專利182項，擁有軟件著作權26項。