傑宜斯申請半導體制造裝置及其控制方法專利，能控制半導體制造裝置

金融界2025年1月18日消息，國家知識產權局信息顯示，傑宜斯科技有限公司申請一項名爲“半導體制造裝置及其控制方法”的專利，公開號 CN 119314902 A，申請日期爲2024年7月。

專利摘要顯示，本發明多個實施例涉及半導體制造裝置，該半導體制造裝置可包括：多個杯部，用於回收工序期間噴射的化學物質；馬達驅動模塊，用於驅動馬達以調節所述杯部的上下位置；多個壓力閥，用於驅動氣缸以調節所述杯部的上下位置；以及處理器，用於控制所述馬達驅動模塊及所述壓力閥。

本文源自：金融界

作者：情報員