金徠教您如何選擇真空等離子清洗設備？

真空等離子體清洗設備誕生於20世紀初，近年來在許多高科技領域佔據關鍵技術地位。等離子體清洗設備技術率先推動了電子信息產業的發展，特別是半導體和光電產業的發展。因爲等離子清洗機已經在很多行業得到了廣泛的應用，今天金徠就來說說如何選擇真空等離子清洗設備。在真空等離子體清洗設備的選擇上，主要考慮以下幾個方面。

一、腔體容量 1、工件容量： 一般來說，真空等離子清洗機的分類主要是根據空腔的大小和空腔的材質來劃分的。在選擇腔體尺寸時，首先要考慮的是工件的尺寸，也就是說，至少要把工件放下來。如果工件放不下，再考慮它的元素就沒有意義了。 2、生產能力： 對於生產能力較高的產品，必須根據生產能力選擇型腔容量。腔體容量越大，每次加工的物品越多。如果生產能力要求不高，則應優先考慮工件能力。在可下載零件的情況下，根據其生產能力計算出合適的型腔容量。

二、選擇什麼頻率的真空等離子清洗設備 近年來常見頻率爲40kHz、13.56MHz和20MHz。40kHz的自偏壓約爲0伏，13.56MHz的自偏壓約爲250伏，20 MHz的自偏壓較低。激發頻率的作用機理不同。40兆赫反應是物理反應，13.56兆赫反應既有物理反應又有化學反應。在20兆赫有物理反應，但更重要的是化學反應。

三、腔體材料的選擇 近年來比較常用的腔體材料有石英腔體、不鏽鋼腔體、鋁合金腔體等，石英腔體溫度低，不易反應。鋁型材的優點：鋁型材密度低，強度高，優於鋼，加工性能好。鋁具有良好的導電性、導熱性和耐腐蝕性。該材料具有良好的化學反應相容性，不易產生金屬污染，無污染等。

四、真空泵的選擇 無論是選擇國產還是進口，是單級泵還是油泵，是單級泵還是雙極泵，大家可以根據客戶的實際需求來選擇每一種真空泵，這裡就不多說了。

五、氣路選擇 真空等離子清洗設備是兩個通道，但這不能滿足所有的加工要求。如果需要較多的反應性氣體，則應適當增加氣體通道，這也是基於用戶選擇多個通道的實際需求。 以上是金徠從五個方面爲大家講解如何選擇真空等離子清洗設備。