龍騰光電取得一種光罩檢查機構及光罩清潔設備專利,降低了對光罩的檢測難度,提高了對光罩的檢查效率

金融界2024年6月21日消息,天眼查知識產權信息顯示,崑山龍騰光電股份有限公司取得一項名爲“一種光罩檢查機構及光罩清潔設備“,授權公告號CN221200225U,申請日期爲2023年12月。

專利摘要顯示,本實用新型涉及顯示面板製造技術領域,尤其涉及一種光罩檢查機構及光罩清潔設備。光罩檢查機構包括風機組件、製冷風道和制熱風道,製冷風道和制熱風道均與風機組件相連通,風機組件用於向製冷風道和制熱風道內吹入空氣,製冷風道被配置爲對吹入的空氣降溫,制熱風道被配置爲對吹入的空氣加熱,並且製冷風道和制熱風道用於同時向光罩的表面吹氣,以使光罩的表面產生霧氣,從而檢查光罩的表面是否存在印記,降低了對光罩的檢測難度,提高了對光罩的檢查效率,也保證了產品的良率。此外,通過冷熱空氣相遇產生霧氣,避免了光罩的表面殘留水漬,保證了光罩的正常使用。光罩清潔設備通過應用上述光罩檢查機構,提高了工作效率,也保證了產品的良率。

本文源自:金融界

作者:情報員