明遠強攻半導體電源電漿系統

明遠精密科技總經理盧俊宏。圖／業者提供

2020年臺灣半導體產業於疫情中逆勢成長，達20.7％的高成長率，總產值躍升全球第二。因應 5G、Data Center、HPC、AI等應用日趨普及，2021-2024年半導體產業將持續快速成長，也爲半導體全球供應鏈帶來重組的契機。

明遠精密科技總經理盧俊宏表示：「未來3～4年是臺灣半導體供應鏈全球化最好的機會，除了臺灣是半導體代工重鎮外，日本、美國和其他半導體設備大廠都思考將供應鏈往臺灣挪移，包括將部分成熟的設備組裝生產線移往臺灣，主要考量爲臺灣成熟且可信賴的技術及代工市場客戶的就近服務。明遠是目前臺灣唯一在射頻電源、電漿源、臭氧產生器及微波源等關鍵子系統，具有研發自制及商品化能力的供應商，這些正是半導體設備供應鏈必備的重要條件。」

明遠於2018年底推出與日本技術合作開發的新款射頻電源供應器，2019年即成功打入重要半導體代工大廠供應鏈，此單一產品助攻明遠營收連續兩年超過30％的成長。明遠於今年推出研發自制的臭氧產生器，成功從國際大廠唯一臭氧產生器策略維修供應商，提升爲臭氧產生器自主品牌的研發生產製造商。第一款新品將應用在ALD製程，亦計劃陸續推出應用於TEOS CVD或TFT臭氧水等高端機款。

接續臭氧產生器，明遠新款電漿源已通過經濟部A+專案功能驗證，將於未來1-2年實現商品化。同步半導體關鍵子系統開發，明遠也參與母公司日揚集團第三類化合物半導體設備開發計劃；此外，明遠亦掌握電動車市場成長商機，積極佈局。

明遠精密於新產品計劃及全球市場供應鏈規劃完善，針對半導體先進製程之需求亦做到超前部署，具高度成長潛力，未來營運可望更上層樓。