上海光機所在干涉儀波前校準方法研究方面取得進展

財聯社7月22日電，中國科學院上海光學精密機械研究所高端光電裝備部研究團隊近期在干涉儀測試的波前校準方法研究方面取得進展。相關研究成果以“High precision wavefront correction method ininterferometer testing”爲題發表於Optics Express。本項工作中，研究團隊針對斐索干涉儀測試中波前誤差與實際表面誤差之間的差異，提出了一種新的高精度光學表面波前校正方法。主要內容包括光學表面函數參數擬合、橫向失真校正、錯位誤差消除和凹陷表面誤差計算。並從函數參數擬合、射線追蹤、插值等方面對該方法的誤差進行了深入分析。零位測試配置中離軸拋物面鏡的波前校準證明了該方法的有效性。結果顯示，實驗產生的環形誤差顯著減小，離軸方向誤差從0.23λ提高到0.05λ（λ=632.8nm），非球面偏離的PV超過8.5mm。該研究在高精度光學元件檢測過程中有重要意義。