蔚華以漢微科為師拚自製！推 SiC 基板、矽光子檢測

蔚華與南方科技合作舉行新品發表會，圖左起爲蔚華總經理楊燿州、蔚華董事長秦家騏、股東邰中和、股東技嘉董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理王嘉業。王鬱倫攝影

蔚華半導體代理業務遇逆風，正積極轉向自研檢測設備業務，除CIS檢測，董事長秦家騏28日攜手南方科技發表SiC（碳化矽）基板JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，創新程度吸引三大SiC基板臺廠派員與會，矽光子檢測設備也正朝量產準備中，內部預估2024年在「自制爲主，代理爲輔」下，全年將挑戰獲利。

「我有個夢想，像漢民集團的漢微科，也是代理起家，後來投入前段設備，後來被ASML買走，是成功的案例，這就是因爲他們有自己（研製）的東西。」蔚華董事長秦家騏以漢民集團爲師，正大力從代理轉向自制之路，能否成爲漢微科第二，業界正高度矚目。

蔚華科技28日攜手持股51%的數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，採用先進非線性光學技術，可以對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用「全檢」取代現行破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻「抽檢」方式，有助於協助改善SiC功率元件生產良率，並替基板廠節省10%物理耗損。

而南方科技能有如此創新檢驗方法，主要是因爲該團隊過去做生物細胞檢測設備，蔚華因有半導體通路經驗，拿來運用於半導體檢測，竟意外使光學技術價值大幅提升，機臺設備身價超過4000萬~5000萬元。

對這個新檢測技術相當重視，合晶、環球晶、盛新半導體三大SiC基板臺灣業者都派員出席觀禮，秦家騏開心透露很快就有訂單，「期望全球大賣！現在全世界最大的前三家（SiC基板業者）都有來溝通，我認爲很有機會！」

目前相對矽晶圓產業製程已有穩定高良率，第三類半導體則仍有良率瓶頸，SiC產能開出不多，秦家騏表示，「如果成爲產業檢測標準的話，肯定市場的量很大，且現在電動市場在各地滲透率才8~15%，加上充電樁，需要的晶片有多少！」他開心預估，2024年JadeSiC-NK檢測系統交期4~6個月，2024年5~6月開始交貨，一年可以賣數十臺。

目前SiC大廠有Wolfspeed、美國Coherent、南韓SK Siltron、日本羅姆Rohm等，業界多以蝕刻檢測方式，將一個晶錠切成20片左右基板，取頭尾各一片做檢測，檢驗完也就破壞報廢了，導致每一個長晶爐每長出一顆晶錠都有約10%損耗，但同時也不能保證其他基板的品質，但南方科技的技術能做到一定深度掃描，許多關鍵缺陷都能抓出。

蔚華代理起家，發展跌跌撞撞，一路面對的挑戰不少，2019年佔7成營收的大客戶Xcerra合約終止，後來雖大力拓展新代理品牌客戶補產品線，但又因中美貿易戰起，蔚華業務最大的中國大陸市場遭貿易限制，高階機臺銷售受阻，中低階則面臨本土業者低價競爭，轉投資金沙食品生意又退出。

「疫情將機臺交期拉得很長，其次今年本來有幾張很大的訂單，大概2～3億元以上的，客戶下單了，但原廠限制不出貨，做代理就是得仰人鼻息。」秦家騏一語道出代理業的宿命。

「未來期望自制爲主，代理爲輔。」秦家騏透露，未來蔚華還會進行策略性投資併購，也計劃提高南方科技持股至100%，而CIS檢測設備則是利用FPGA卡進行CMOS晶片檢測運算，可大幅縮短檢測時間，目前已有中國大陸客戶在手，正跟日本原廠洽談高相素晶片檢測技術驗證。

今年蔚華也投資奈米探針業者埃爾思，並增持南方科技100%股權，由於手握10幾億元現金，蔚華透露未來併購投資行動仍將不會停止。

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