矽品科技申請基板印字裝置及其控制方法專利,解決基板清洗的多種問題

金融界2024年11月21日消息,國家知識產權局信息顯示,矽品科技(蘇州)有限公司申請一項名爲“基板印字裝置及其控制方法”的專利,公開號 CN 118977506 A,申請日期爲 2024 年 8 月。

專利摘要顯示,本發明提供一種基板印字裝置及其控制方法,本發明的基板印字裝置通過無刷直流電機帶動抗靜電圓盤刷轉動對基板進行清洗,可以通過設置裝置參數,使得抗靜電圓盤刷轉動時不損傷基板,此種清洗方式屬於物理方式且比現有基板清洗技術中的物理方式更爲溫和,因此解決了現有技術中物理方式容易對基板造成損傷、化學清洗方式容易對基板產生腐蝕,且一些特殊材質的異物可能無法通過化學方式去除的問題此外本發明通過在現有的基板印字裝置上加裝基板清洗機構形成本發明的基板印字裝置,使得本發明的基板印字裝置同時具有基板印字和基板清洗的功能,提高了裝置的集成度,解決了現有基板清洗裝置成本較高、操作複雜且效率較低的問題。

本文源自:金融界

作者:情報員