新時達:公司半導體機器人已批量應用於國內多個晶圓廠產線

財聯社10月14日電,新時達在互動平臺表示,目前公司半導體機器人已批量應用於國內多個晶圓廠產線,公司與國內半導體設備公司就機器人研發達成了相關合作,目前公司半導體機器人應用能夠覆蓋熱處理、清洗、刻蝕、薄膜、黃光、減薄、鍵合等半導體前道和後道工藝製程。