英穆自動化申請晶圓鍵合設備及方法專利，能實現將兩片晶圓中的氣泡從中間向外排除的效果

金融界2025年1月8日消息，國家知識產權局信息顯示，英穆自動化科技（廈門）有限公司申請一項名爲“一種晶圓鍵合設備及方法”的專利，公開號CN 119252774 A，申請日期爲2024年12月。

專利摘要顯示：本發明公開了一種晶圓鍵合設備和方法，該設備包括用於壓合晶圓的氣囊裝置；氣囊裝置包括依次上下設置的安裝架、浮動機構、固定架和氣囊；氣囊安裝於固定架下方，固定架與安裝架通過浮動機構轉動連接；浮動機構包括球軸承和若干支桿，球軸承兩端分別連接於固定架中部與安裝架中部，各支桿分別周向間隔的分佈於球軸承的外周，支桿下端連接固定於固定架，支桿上端活動穿設於安裝架上設置的活動孔。藉此，通過設置浮動機構，在晶圓鍵合過程中，氣囊對晶圓下壓時，藉由球軸承的轉動連接以及各支桿的限位，氣囊可以在一定幅度內進行自由擺動可以實現將兩片晶圓中的氣泡從中間向外排除的效果，確保兩片晶圓之間鍵合緊密，提高鍵合強度和精度。

天眼查資料顯示，英穆自動化科技（廈門）有限公司，成立於2016年，位於廈門市，是一家以從事電氣機械和器材製造業爲主的企業。企業註冊資本100萬人民幣，實繳資本100萬人民幣。通過天眼查大數據分析，英穆自動化科技（廈門）有限公司參與招投標項目1次，專利信息11條，此外企業還擁有行政許可7個。

本文源自：金融界

作者：情報員