準力雙面研磨與拋光機 兩機一體更優異
準力JL-D16雙面研磨與拋光機。圖/業者提供
準力機械成立至今已有30多年,專精於研發製造各式平面磨牀,看好半導體與光電產業之遠景,與日本知名廠商技術合作,積極致力於研發光電元件之創新制程,而新開發成功的高精密JL-D16雙面研磨與拋光機新產品,針對矽晶圓、石英、SIC、玻璃、藍寶石、陶瓷基板等硬脆材料磨削加工而研發新產品,具備了優異加工性能。
準力公司負責人林馨堂表示,新推出可應用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃及寶石等硬脆材料磨削加工的JL-D16雙面研磨與拋光機二機一體新產品,採用行星式旋轉磨盤、正逆轉機構之設計,使研磨後之工件具有優異的平面度、平行度和表面精度。
JL-D16雙面研磨與拋光機系列特性:JL-D16能同時爲平面工件雙面研磨或拋光,適用非金屬及硬碎材料之表面加工,包括:矽晶圓、石英、SIC、玻璃、藍寶石、陶瓷基板,以及加工金屬材料,如鋁材、不鏽鋼和機械油封等。
超大磨盤外徑一次能放置五個DP12,200齒的行星式夾具,再搭配電控比例閥之壓力控制方式,確保大量生產之加工效率;準力注重品質與加工能力,JL-D16的最小加工厚度可達0.4MM,且產品加工後的表面精度可達到0.3UM。
JL-D16雙面研磨與拋光機,爲臺灣第一臺晶圓加工機,此機可廣泛應用於如石英、藍寶石、陶瓷與矽晶圓等需快速薄化之硬脆材料上,此一晶圓加工機至今仍受到晶圓封測大廠人員的讚賞,顯示臺灣有能力自行研發、生產製造晶圓研磨加工機,準力機械公司邁向半導體新里程碑。網址:www.joenlih.com.tw。