北方華創申請排氣裝置和半導體加工設備專利，減小排氣裝置的尺寸

金融界2024年11月4日消息，國家知識產權局信息顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司申請一項名爲“排氣裝置和半導體加工設備”的專利，公開號 CN 118888482 A，申請日期爲2024年8月。

專利摘要顯示，本發明提供一種排氣裝置和半導體加工設備，該裝置包括：排氣主體，排氣主體中設置有排氣通道，排氣通道的進氣口用於與被控壓件的排氣口連通，排氣通道的出氣口用於與廠務排氣端連通；排氣通道具有豎直通道段和位於豎直通道段底部的開口部；調節件，相對地位於豎直通道段中、且位於開口部的上方；以及連接限位組件，與調節件可相對升降的連接，且限制調節件距離開口部的最近位置，以使調節件在所受到的向上的氣體壓力大於自身重力時自最近位置上升，直至氣體壓力與重力達到平衡。本方案可以減小排氣裝置的尺寸，減少與廠務排氣端的接口數量，並在切換不同的進氣模式時實現被控壓件的壓力處於穩定狀態。

本文源自：金融界

作者：情報員