合肥領航微系統集成申請基於單軸振動傳感器的 MEMS 芯片專利，提升靈敏度

金融界 2025 年 1 月 31 日消息，國家知識產權局信息顯示，合肥領航微系統集成有限公司申請一項名爲“一種基於單軸振動傳感器的 MEMS 芯片”的專利，公開號 CN 119384211 A，申請日期爲 2024 年 9 月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種基於單軸振動傳感器的 MEMS 芯片，涉及半導體工藝技術領域，包括襯底，所述襯底具有相對的正面及背面，所述正面設置壓電層，壓電層包括依次層疊設置的底電極、壓電薄膜和頂電極，芯片對應背腔縱向投影區域範圍內的結構爲振膜，背腔縱向投影區域的壓電層爲振膜，所述壓電薄膜包括位於非振膜區域內的壓電薄膜主體以及位於振膜區域內的中心塊、多個懸臂樑和多個固置樑，所述中心塊位於振膜區域的中心所述固置樑的兩端分別連接所述中心塊和所述壓電薄膜主體，所述懸臂樑的一端與所述中心塊連接，懸臂樑對受到的力進行放大。本發明通過懸臂樑放大力的作用，提升靈敏度，並通過固置樑提升芯片的穩定性。

天眼查資料顯示，合肥領航微系統集成有限公司，成立於2022年，位於合肥市，是一家以從事軟件和信息技術服務業爲主的企業。企業註冊資本754.299萬人民幣，實繳資本504.3萬人民幣。通過天眼查大數據分析，合肥領航微系統集成有限公司參與招投標項目2次，知識產權方面有商標信息2條，專利信息76條，此外企業還擁有行政許可4個。

本文源自：金融界

作者：情報員