科技廠天花板減震裝置曝!陽明交大助「護國羣山」抗震

陽明交大土木系教授王彥博在國際會議談臺灣科技廠的抗震新技術。圖/陽明交大提供

4月3日芮氏規模7.2花蓮大地震天搖地動,不少科技廠都受到地震衝擊產線。陽明交大今天指出,校內土木工程系暨防災與水環境研究中心2016年起協助半導體廠開發與安裝爐管、倉儲系統防震裝置,也在竹科完成一座12吋晶圓廠無塵室的天花板耐震補強工程,歷經這場花蓮大地震展現極佳防震性能,成爲「護國羣山」的靠山。

陽明交大指出,高雄美濃於2016年2月6日發生芮氏規模6.6強震,重創南臺灣高科技產業,損失逾千億元,顯示國內科技廠仍存在防震弱點。當時陽明交大土木系暨防災與水環境研究中心受半導體廠委託,針對廠內相關易因震損設備開發防震技術。

包括半導體廠的垂直爐管、自動化倉儲系統、天花板、庫板及推車與貨架等都是容易受到地震損害的設備。土木系教授王彥博說明,科技廠許多振動敏感性製程設備在地震中極易受損,又以自動化倉儲系統防護性較爲不足,當地震強度達一定門檻時,架上滿載的晶圓盒就會震落,造成巨大損失。

陽明交大土木系團隊開發防震技術,並經由土木系大型結構實驗室的足尺地震模擬試驗,確認其可行性,獲得科技廠與保險公司認可,逐步在廠內推廣實施。像是安裝消能減震控制的自動化倉儲系統能大幅降低振動反應,有效防制晶圓盒被震落,這次減震成效在403大地震獲得充分驗證。

此外,無塵室天花板屬懸吊式系統,地震時作單擺運動但未與廠房結構的變形同步,會於周邊產生碰撞擠壓,造成天車軌道與設備的移位變形,甚至會崩落導致無塵室遭受污染,不僅延宕復工時程,更添營運中斷損失。

針對無塵室天花板的防震需求,陽明交大團隊也協助科技廠安裝消能減震裝置,並在竹科完成一座12吋晶圓廠無塵室的天花板耐震補強工程,在地震中展現極佳防震性能。

王彥博表示,在資源、時間有限的情況下,可針對大宗的震害損失來源加以控管,並配合策略性的產業保險規畫涵蓋其不足,就能大幅降低科技廠的震害風險,強化抗震韌性,並在最短時間內恢復產能,將可能的損失降至最低。

針對無塵室天花板的防震需求,陽明交大團隊協助科技廠安裝消能減震裝置。圖/陽明交大提供

陽明交大團隊針對科技廠自動化倉儲系統的減震控制地震模擬試驗。圖/陽明交大提供