陽明交大開發科技廠防震技術 強化護國羣山抗震韌性

陽明交大土木系教授王彥博在國際會議談臺灣科技廠的抗震新技術。（陽明交大提供／王惠慧新竹傳真）

針對無塵室天花板的防震需求，陽明交大團隊協助科技廠安裝消能減震裝置。（陽明交大提供／王惠慧新竹傳真）

0403花蓮大地震，不少竹科廠商都受到衝擊，陽明交大19日表示，學校土木工程系暨防災與水環境研究中心，2016年起協助半導體廠開發與安裝爐管、倉儲系統防震裝置，經多年推廣實施，在這次地震也展現極佳的防震性能。

校方指出，高雄美濃於2016年2月6日發生芮氏規模6.6強震，重創南臺灣高科技產業，損失逾千億臺幣，顯示國內科技廠仍存在防震弱點。當時陽明交大土木系暨防災與水環境研究中心受半導體廠委託，針對廠區內地震易損設備開發防震技術，包括較容易受到地震損害的垂直爐管、自動化倉儲系統、天花板、庫版、推車及貨架等。

土木系教授王彥博指出，科技廠許多振動敏感性製程設備在地震中極易受損，其中自動化倉儲系統防護性較爲不足，當地震強度達一定門檻時，架上滿載的晶圓盒就會震落，造成巨大損失。

研究團隊開發防震技術，並經由土木系大型結構實驗室的足尺地震模擬試驗，確認其可行性，獲得科技廠與保險公司認可，逐步在廠內推廣實施。例如，安裝消能減震控制的自動化倉儲系統能大幅降低振動反應，有效防制晶圓盒被震落，其減震成效在0403花蓮大地震獲得充分驗證。

此外，無塵室天花板屬懸吊式系統，地震時作單擺運動但未與廠房結構之變形同步，會於周邊產生碰撞擠壓，造成天車軌道與設備的移位變形，甚至會崩落導致無塵室遭受污染，不僅延宕復工時程，更添營運中斷損失。

團隊也協助科技廠安裝消能減震裝置，並在竹科完成1座12吋晶圓廠無塵室的天花板耐震補強工程，在這次地震中也展現極佳防震性能。

王彥博說，在資源、時間有限的情況下，可針對大宗的震害損失來源加以控管，並配合策略性的產業保險規畫涵蓋其不足，就能大幅降低科技廠的震害風險，強化抗震韌性，在最短時間內恢復產能，將損失降至最低。