《科技》是德科技推4881HV高電壓晶圓測試系統 助力半導體制造

傳統上，製造商需要使用不同的測試儀器分別量測晶圓的高、低電壓。然而，隨着功率半導體因其多功能性、高性能及新一代設備（如碳化矽SiC和氮化鎵GaN）的需求迅速增長，客戶迫切需要更準確、高效的量測解決方案，以縮短產品上市時間。是德科技的新系統正是爲了應對這些需求而設計，協助功率設備製造商在生產過程中進行製程控制監控（PCM）和晶圓接受測試（WAT）。

該測試系統具備多項優勢。首先，其高電壓開關矩陣（HV-SWM）支援高達3kV的需求，可擴充至29個針腳，並與高精密電源量測設備（SMU）整合，能在低電壓如sub-pA到3kV高電壓之間靈活進行精密量測。此外，該系統能夠執行高壓電容量測量及各種參數測試。透過單一測試系統取代傳統分離的高、低電壓測試，顯著提高生產效率，並縮減測試所需空間與時間。同時，該系統透過是德科技的SPECS-FA軟體整合工廠自動化環境，進一步提升整體生產效率。

在安全性和可靠性方面，該測試系統內建電路保護和機器控制功能，確保操作人員及設備免受高電壓突波影響，並符合SEMI S2標準等相關安全法規。

是德科技副總裁暨晶圓測試解決方案事業羣總經理Shinji Terasawa表示：「我們很高興能在長期測試先進半導體的基礎上，推出這款專爲功率半導體設計的全新晶圓測試系統。我們的使命是通過提供最頂尖的解決方案，預見並滿足半導體產業快速發展的需求，進而引領市場。此項創新展現了我們對產業的堅定承諾。」