資騰科技助力半導體良率提升

資騰EcoDesign臭氧水產生設備適用於半導體、FPD等製造過程中的精密清洗應用之臭氧水設備。圖／資騰提供

佳世達集團羅升旗下資騰科技將參加「2024 SEMICON Taiwan國際半導體展」，偕同歐美日及在地合作伙伴展出。此次展會將聚焦於運用隨機性誤差量測工具在先進製程與EUV應用，以及VOC回收產品，可應用於AI伺服器散熱之雙相浸潤式冷凍液回收，助力客戶達成環境永續目標。

Fractilia FAME 300專爲量產晶圓廠設計，能即時測量和監控先進節點微影圖案化誤差中的隨機效應（stochastic），其全新FAME OPC套件，能自動化測量多種隨機效應並縮短運算時間，提升微影圖案化中的OPC建模精準度，對High-NA EUV製程精度具關鍵影響。可用於所有SEM工具、High-NA EUV與OPC資料串流，幫助先進半導體提高良率、降低製程風險，實現高效穩定生產。

本次展出產品包括來自德國的Intelligent Fluids的物理性去光阻技術、EcoDesign的Metal Free臭氧水產生設備、Prognosis普格諾斯科技的智能振動感測器、FlowVIEW邑流科技的溼製程微污染監控解決方案、AI Particle Imager影像檢測儀，日本大廠Morikawa和德國新創公司CNM Technologies的合作，主要實績爲面板廠、自動化設備廠與半導體客戶。

來自德國的創新清潔液體Intelligent Fluids GmbH，具備去污、去膠和去光阻等效果，pH值介於5.5～6.5之間，對人體無直接性傷害，無毒且環保，並能在自然環境中分解。可取代NMP等有毒溶劑，幫助客戶實現更安全、可持續的生產過程。

EcoDesign臭氧水產生設備，專利設計的石英三重管及渦旋式臭氧溶解技術，可提供無金屬微粒、穩定且高濃度的臭氧水，在晶圓清洗過程中，可降低RCA製程的藥劑使用量，同時維持高品質的製程控制，在矽基半導體與碳化矽半導體制程中獲得廣泛採用，達成更永續製造目標。

Prognosis智能振動感測器是高精度工業級MEMS振動感測器，具備防爆、耐腐蝕、寬溫等各種規格，結合AI設備故障預診軟體，提供符合半導體廠自動化監控的解決方案。確保設備始終以最佳狀態運行，不僅降低產能損失和維修成本，同時實現節能減碳目標。

FlowVIEW溼製程微污染監控解決方案，包括臨場電子顯微鏡觀測，突破固態樣品限制，能在30秒內完成封裝並觀測到7nm微粒子。多通道液體粒子檢測系統整合至產線，能24小時監控數據與預警。AI Particle Imager利用影像檢測和AI分析，快速處理溼製程中的粒子和氣泡，生成自動化圖像報表，監控制程品質，降低污染風險與設備成本提升良率。

Morikawa VOCs處理技術獲日本產業技術大獎，該技術針對各領域中的VOCs溶劑氣體進行液化回收，減少環境危害的同時降低溶劑購買成本。

CNM Technologies 碳奈米膜材料，具有極微小孔隙及大通量的物理特性，可應用於半導體超高純水過濾、精水處理等。於電池和燃料電池應用，實驗證明可增加鋰電池的2倍壽命，達到增強能源儲存設備的可靠性和效能，提高半導體和精水處理過程中的過濾效率。

透過與和淞科技、韶揚科技、友達數位、邑流科技、普格諾斯科技、其陽科技、帝畢仕等多家知名廠商的緊密合作，爲客戶提供精確應對先進製程和 EUV 應用挑戰的解決方案，幫助客戶提升製程良率、降低生產風險。