臺積EUV大舉拉貨 供應鏈樂

圖／本報資料照片

臺積電臺灣先進製程工廠進度

臺積電2奈米先進製程產能將於2025年量產，設備廠正如火如荼交機，尤以先進製程所用之EUV（極紫外光曝光機）至爲關鍵，今明兩年共將交付超過60臺EUV，總投資金額上看超過4,000億元。在產能持續擴充之下，ASML2025年交付數量成長將超過3成，臺廠供應鏈沾光，其中家登積極與ASML攜手投入次世代High-NA EUV研發，另外帆宣、意德士、公準、京鼎及翔名等有望同步受惠。

設備業者透露，EUV機臺供應吃緊，交期長達16至20個月，因此2024年訂單大部分會於後年開始交付；據法人估計，今年臺積電EUV訂單達30臺、明年35臺，不過會因爲資本支出進行微幅調整。而除了研發中心之外，High-NA EUV明後年尚無量產設備規劃。

ASML因應客戶需求，於去年規劃新產能，明年交付數量成長性明確。今年預估總交付數量達53臺，而明年預計達到72臺以上。

供應鏈指出，ASML對2025年度產能規劃，EUV 90臺、DUV 600臺、High-NA EUV 20臺目標並未改變，今年11月14將舉行2024 Investor Day，將對下個五年提出最新藍圖。

臺積電先進製程產能逐漸開出，以3奈米臺南廠來說，第三季將進入量產，明年P8廠也會有EUV機臺陸續導入，新竹寶山2奈米在接續三年EUV拉貨動能強勁、高雄2奈米也同步進行。

供應鏈同時透露，臺積美國P1A工程追加款項有望第三季到位，且該廠區已進入建設尾聲，加上臺積在國內外其餘廠區建設需求，如新竹寶山、日本熊本、高雄楠梓及封測廠等、CSP資料中心建置需求，設備需求不看淡。

更多的EUV機臺，帶動EUV光罩盒使用量同步成長，法人認爲，家登將爲其中最受惠業者，FOUP（前開式晶圓傳送盒）持續搶攻市佔率，相較競爭對手，家登自建熱風抽氣環境，將塑膠粒或是污染粒子排除，直接送至客戶廠區即可上機；同時，ASML High-NA EUV家登也投入合作研發。

生產環境比造大廠無塵室打造，家登有信心提供客戶更佳產品品質及服務，伴隨後下半年產能持續開出，明年將逐步趕上客戶需求，帶動營運成長。