臺積電申請集成電路芯片及其形成方法專利,有助於形成集成電路芯片
金融界 2024 年 8 月 30 日消息,天眼查知識產權信息顯示,臺灣積體電路製造股份有限公司申請一項名爲“集成電路芯片及其形成方法“,公開號 CN202410497512.7,申請日期爲 2024 年 4 月。
專利摘要顯示,一些實施例是有關於一種形成集成電路芯片的方法,包括:在襯底上方形成第一導線層級;在第一導線層級上方沉積刻蝕停止層;對刻蝕停止層進行刻蝕,以在第一導線層級上方形成開口;在刻蝕停止層上方沉積阻障層,其中阻障層延伸進入開口;在阻障層上方與開口中沉積第一導體層;平坦化第一導體層,以使第一導體層的頂面被平坦化,其中平坦化停止於暴露出阻障層之前;在第一導體層上方沉積資料儲存層與第二導體層;以及圖案化阻障層、第一導體層、資料儲存層與第二導體層,以在開口處形成內存胞元。
本文源自:金融界
作者:情報員