廣納四維申請一種體全息光波導曝光設備和方法專利，提升曝光效率

金融界2025年1月30日消息，國家知識產權局信息顯示，廣納四維（廣東）光電科技有限公司申請一項名爲“一種體全息光波導曝光設備和方法”的專利，公開號 CN 119376183 A，申請日期爲2024年11月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種體全息光波導曝光設備和方法，在設備中，光源模塊用於出射照射光束，反射組件用於反射照射光束形成曝光光束；擋板組件包括至少一個擋板模塊，擋板模塊包括至少一個擋板，擋板包括透光區；掩膜版組件至少包括一個掩膜版，掩膜版包括週期性光柵掩膜結構；控制器用於根據波導片的待曝光區域的光柵參數，控制反射組件對照射光束的反射角度，還用於根據曝光光束的位置控制工件臺的移動，還用於根據光柵參數獲取與待曝光區域的當前次曝光對應的擋板的型號和掩膜版型號，並根據曝光光束的位置調整擋板位置和掩膜版的位置，以對待曝光區域進行曝光。可以通過控制器控制整個曝光設備，對曝光實現全自動化執行，效率得到了極大的提升。

天眼查資料顯示，廣納四維（廣東）光電科技有限公司，成立於2021年，位於廣州市，是一家以從事研究和試驗發展爲主的企業。企業註冊資本612.9822萬人民幣。通過天眼查大數據分析，廣納四維（廣東）光電科技有限公司共對外投資了1家企業，參與招投標項目5次，知識產權方面有商標信息5條，專利信息60條，此外企業還擁有行政許可11個。

本文源自：金融界

作者：情報員