杭州富芯申請封裝結構及其製作方法專利,能夠提高芯片的封裝良率

金融界2025年1月25日消息,國家知識產權局信息顯示,杭州富芯半導體有限公司申請一項名爲“封裝結構及其製作方法”的專利,公開號CN 119340201 A,申請日期爲2024年10月。

專利摘要顯示,本發明提供一種封裝結構及其製作方法,所述方法包括:提供器件晶圓,至少包括襯底、金屬層與鈍化層,鈍化層中形成有第一通孔,第一通孔側壁的底部具有側掏區域;形成第一光刻膠層,填滿側掏區域,覆蓋第一通孔的側壁、底部以及鈍化層的頂部;圖形化第一光刻膠層暴露出第一通孔底部的部分金屬層;形成籽晶層,覆蓋圖形化的第一光刻膠層以及金屬層;形成第二光刻膠層,填滿第一通孔並覆蓋籽晶層;圖形化第二光刻膠層,暴露出第一通孔底部的部分籽晶層。本發明通過圖形化的第一光刻膠層填充側掏區域,並覆蓋第一通孔的側壁,使得鈍化層的側掏形貌得到了解決,能夠形成連續且均勻的籽晶層,避免後續電鍍銅工藝的失效,提高芯片的封裝良率。

天眼查資料顯示,杭州富芯半導體有限公司,成立於2019年,位於杭州市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本945000萬人民幣,實繳資本895000萬人民幣。通過天眼查大數據分析,杭州富芯半導體有限公司參與招投標項目23次,知識產權方面有商標信息15條,專利信息238條,此外企業還擁有行政許可16個。

本文源自:金融界

作者:情報員